EFM500由希臘ES SYSTEM公司開發，是一種基于熱膜風速計原理的用于質量氣體流量測量的MEMS氣體流量傳感器系列。

EFM500氣體流量傳感器的特征是：可雙向檢測氣體流量，測量范圍是±（20-500 ）SLPM，總誤差為讀數的1%。流線型對稱設計，高質量塑料制造，即使在雙向最大流量下也呈現非常低的壓降。校準氣體為空氣，也可根據要求提供其他非腐蝕性氣體。

工作電壓低至3.3V，EFM500氣體流量傳感器在SPI或I2C總線上提供校準和溫度補償輸出，即插即用，可直接連接到低壓MCU和系統。為用戶提供多種選擇（如電源、單向/雙向或模擬輸出），以便根據每個應用的具體要求選擇正確的傳感器配置。

EFM500具有結構緊湊、通用性強等優點，其高精度和高可靠性對于醫療、過程自動化和制藥設備這些行業尤為重要，是理想的氣體質量流量計。

應用及案例

·  醫       療（麻醉機、心臟輔助設備心泵、肺活量計、供氧計量……）

·  分析儀器（光譜儀、色譜儀……）

·  過程自動化（泄漏檢測、真空泵檢測……）

·  制藥設備

·  實  驗 室

·  環境監測

·  燃燒控制

·  燃料電池

產品特色

EFM500氣體流量傳感器的特征是：可雙向檢測氣體流量，測量范圍是±（20-500 ）SLPM，總誤差為讀數的1%。流線型對稱設計，高質量塑料制造，即使在雙向最大流量下也呈現非常低的壓降。校準氣體為空氣，也可根據要求提供其他非腐蝕性氣體。

性能指標

校準氣體    空氣，其它可用氣體根據要求

流量范圍    ±（ 20-500 ）SLPM，雙向或單向

供電電壓    3.3V 或 5V

工作壓力    1.45BarA

預熱時間    35ms

輸出信號    I2C，SPI，0-5V，0-3.3V

總 誤  差    1%讀數

ADC分辨率    16位

輸出刷新率    1ms（ 1KHz ）

壓       損   <750pa@200 SLPM

操作溫度    - 40℃ ~ 85℃

校準溫度    0℃ ~ 50℃

濕       度    0% - 95% RH, 無冷凝

尺       寸    44×92.8×35.4mm（W×L×H)

材       質    接液材質：增強玻璃熱塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

                  環氧樹脂、硅橡膠、FR4、聚氨酯、316不銹鋼

                  外殼材質：增強玻璃熱塑性聚合物

過程接口    22mm ISO 5356

電氣接口    2mm 鎖定連接器

認       證    RoHS, CE,WEEE

選項配件

評估套件

氣體流量評估套件被設計成一款即插即用型設備，無需定制軟件或硬件設計及開發，旨在為用戶提供一個緊湊的解決方案來評估EFM500系列雙向氣體質量流量計。開發了一個用戶友好的軟件用于記錄和監測EFM500系列的流量數據。

產品大圖

 

訂貨選型

選型示例  EFM500-XXX-X-X-X-X-X

含       義

EFM500	-XXX	-X	-X	-X	-X	-X
產品型號	流量范圍SLPM 020-500（可指定）	方向 -B    雙向型 -U    單向型	氣體 -A      空氣 -O      其它	輸出信號 -I      I2C -S      SPI -A      0-5V -B      0-3.3V	供電 -L      3.3V -H      5.0V	控制碼